10.13911/j.cnki.1004-3365.200458
一种小型化射频MEMS电子校准件设计
通过短路-开路-负载-直通(SOLT)校准原理与MEMS开关结合,设计了一种小型化多功能电子校准件.仿真结果表明,在0.1~20 GHz频段内,该电子校准件的双端口校准仅需2步;直通状态插入损耗≤0.9 dB,开路状态回波损耗≤0.48 dB,短路状态回波损耗≤0.39 dB.整体尺寸为2.5 mm×1.2 mm×0.8 mm.该MEMS电子校准件体积小,损耗低,成本低,校准准确度高,效率高,适用于毫米波测量和小型智能化校准领域.
MEMS;电子校准件;单刀四掷;SOLT
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TN606(电子元件、组件)
国家自然科学基金资助项目;新品项目;中北大学青年学术带头人项目;双百工艺攻关项目
2021-10-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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