10.13911/j.cnki.1004-3365.210020
机械应力对双极晶体管β的影响研究
在芯片制造工艺过程中,机械应力对纵向NPN管共射电流增益β有很大影响.通过对上方第二层铝开槽可使β值回升.在第一层铝与第二层铝间的IMD层中加入压应力Si3N4膜,尺寸最大的NPN管的β恢复正常,而其他尺寸的NPN、PNP管的β均有不同程度上升.应用能带理论分析了应力对双极晶体管β的影响机制.结果表明,体硅(100)晶面内的应力对纵向NPN和纵向PNP管的β均有很大影响,并通过实验得到了验证.
双极晶体管、电流放大系数、应力、应变、能带
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TN322+.8(半导体技术)
2021-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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