10.13911/j.cnki.1004-3365.200355
离子敏感场效应晶体管传感器研究进展
近年来,离子敏感场效应晶体管(ISFET)生物传感器因其灵敏度高、速度快、无标记、体积小、成本低等特点而受到了广泛关注,可应用于DNA、蛋白质、酶、细胞、离子等生物识别物的检测.ISFET生物传感器在金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)的基础上发展而来,通过溶液和传感层之间产生电荷转移,形成界面电位,从而改变FET的电流.综述了基于ISFET的生物传感器的工作原理,对器件类型进行了分类,分析了各种器件结构的特性,并列举了最新的应用进展,对未来实现高性能、微型化、可量产的ISFET生物传感器具有重要作用.
离子敏感场效应晶体管、生物传感器、传感层、电荷转移、界面电位
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TN432;TP212(微电子学、集成电路（IC）)
中国科学院青年促进会基金资助项目;中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室课题基金资助项目
2021-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共8页
860-867
