10.13911/j.cnki.1004-3365.200186
次表面横向PNP管制作及辐射效应研究
依据总剂量辐射对横向PNP (LPNP)管的损伤机理,设计了一种辐射加固的次表面LPNP管.开发了通过高能离子注入工艺实现LPNP管的工艺方法,该工艺与常规双极工艺兼容.总剂量辐射试验结果表明,采用次表面LPNP管制作的LW5101线性稳压器的抗辐射能力显著提高.
横向PNP管、抗辐射、高能离子注入
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TN431;TN406(微电子学、集成电路（IC）)
2020-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
593-596
