10.13911/j.cnki.1004-3365.180444
MEMS陀螺仪驱动接口ASIC设计
基于0.18μm CMOS工艺,设计了一种用于MEMS陀螺仪驱动闭环的专用集成电路,实现了MEMS陀螺仪的高精度、集成式和数字化驱动.陀螺仪采用静电力驱动,基于自激振荡原理,结合自动增益控制方法,实现了恒幅恒频振动.设计了电容/电压转换器、3阶带通Σ-Δ ADC等模拟前端电路.芯片测试结果表明,陀螺仪成功起振,谐振频率为3.7 kHz,启动时间≤0.3s,驱动检测信号的信噪比达到115 dB,驱动振幅1h稳定性为1.5×10-4,整个芯片的功耗小于20mW,电路性能良好.
自激振荡、自动增益控制、电容/电压转换、模数转换器
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TN492;TN432(微电子学、集成电路（IC）)
2019-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
529-533
