10.13911/j.cnki.1004-3365.180528
用于离子注入机剂量控制器的质心修正算法
针对圆盘式全机械扫描注入机,分析了传统束斑中心算法的缺陷和问题,提出质心的概念来表征束斑的分布,并提出了一种用于注入机剂量控制器的质心修正算法.对这两种算法进行分析、仿真和验证.结果 表明,采用质心修正算法后,有效解决了束斑的不同分布对注入剂量精度、片间均匀性和批次间重复性的影响.
离子注入机、质心修正算法、剂量控制器、束斑
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TN305.3(半导体技术)
重庆市重点产业共性关键技术创新专项资助项目cstc2016zdcy-ztzx40006
2019-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
385-388,393
