10.13911/j.cnki.1004-3365.180067
基于Faster R-CNN的光刻热点检测
光刻热点检测是集成电路可制造性设计的一项重要环节.已有研究将卷积神经网络应用于光刻热点的检测,但在卷积运算的重复性、检测结果准确度等方面存在较多问题.为了解决上述问题,提出一种基于Faster R-CNN并结合在线难例挖掘和软性非极大值抑制的光刻热点检测算法.采用ICCAD 2012 Contest的版图基准作为验证载体.实验结果表明,该算法能有效提高检测的精度和效率,平均检测耗时为0.6 h/mm2,召回率为96.1％,精确率可达40.3％.
可制造性设计、在线难例挖掘、软性非极大值抑制
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TN406(微电子学、集成电路（IC）)
国家自然科学基金资助项目61474098,61674129
2019-01-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
834-838,845
