10.13911/j.cnki.1004-3365.170293
基于激光封焊与胶接的大封闭腔体气密技术
分析并指出了常规气密性焊接技术的缺陷,提出了一种基于激光封焊与胶接的大封闭腔体气密性密封技术.通过气密性试验、对比试验和高低温冲击试验可知,试验件的气密性能为8.6×10-3 Pa·cm3/s.采用新型组合工艺的腔体盖板在外界气压变化较大时几乎不发生变形,未出现凹陷、鼓包、焊缝裂纹或漏气等失效形式.该技术还具有可扩展性,可显著提高大封闭腔体的耐压性和气密性,有利于未来电子设备的集成化设计.
激光封焊、胶接、大封闭腔体、气密性、可扩展性
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TN305.94(半导体技术)
2018-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
262-265,270
