梳齿式静电微驱动器的边缘效应影响分析
针对梳齿式静电微驱动器横向静电力的边缘效应问题,采用基于保角变换的修正公式和有限元法分别进行建模分析.采用修正公式虽然可以减小分析误差,但不能准确捕获边缘效应对驱动器驱动性能的动态影响过程,而有限元法能够准确捕获横向静电力受边缘效应影响而发生突变的过程.通过有限元法分析得出,驱动器的结构参数及其工艺误差均对横向静电力的边缘效应有影响,而驱动电压对边缘效应的影响可以忽略;当梳齿接近完全交叠时,边缘效应的影响显著,驱动器驱动性能具有明显的非线性特征.
静电微驱动器、边缘效应、梳齿结构、静电力、非线性
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TH703;TN403(仪器、仪表)
装备预研基金资助项目9140A05050115X34065
2018-01-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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