铜钼叠层基板的热学特性仿真研究
采用有限元方法,仿真研究了不同层数和材料厚度比的铜钼叠层基板对芯片散热特性的影响.结果表明,2层和3层的铜钼叠层材料均可以有效综合Cu高热导率和Mo低膨胀系数的优点.在相同铜钼总厚度比的情况下,相比于2层材料,3层材料可以实现更好的散热特性.对于1 mm的基板厚度,铜钼铜厚度比为0.2∶0.6∶0.2时可以同时实现较低的温度和热应力.通过调整基板结构参数,可以显著改变芯片的最高温度和最大热应力,满足不同封装领域的需求.
铜钼叠层、基板、热分析、有限元
46
TN305(半导体技术)
陕西省自然科学基础研究计划项目2015JM6357;西安市科技局项目CXY14419;国家级大学生创新创业训练项目201410710033,201510710126
2017-01-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
838-840
