一种新的硅MEMS陀螺仪四相位闭环集成驱动电路
微机械陀螺的闭环驱动电路中通常采用两相位同频信号维持驱动环路谐振,但系统引入误差较大.提出了一种新的硅微机械陀螺四相位驱动系统,将四相位半频驱动电压加载到具有四组驱动电极的结构上,使系统维持在谐振频率上.采用该驱动电路,耦合到输出端的干扰信号为谐振频率的一半,只需采用适当的高通滤波器即可消除干扰信号对输出的污染,同时提高了系统的信噪比.采用0.5μm CMOS工艺进行设计,版图尺寸约为2.8 mm×2.8 mm,测试结果表明该四相位驱动电路能很好地满足陀螺系统驱动模态维持谐振的要求.
MEMS陀螺仪、四相位驱动、角速度检测、锁相环、信噪比
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TN432(微电子学、集成电路（IC）)
国家核高基基金资助项目2014ZX01021101-002
2017-01-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
792-795
