一种基于MEMS的新型镂空压电悬臂梁能量采集器
在经典的矩形悬臂梁结构基础上进行改进,设计了一种新型的基板与压电膜镂空的微悬臂梁能量采集器.在悬臂梁基板与压电膜上添加镂空,分析其结构尺寸(即镂空的长度、宽度、厚度以及数量)与压电振子固有频率和开路输出电压之间的关系,并通过调节其结构尺寸,使压电能量采集器具有更低的振动频率与更高的开路输出电压.实验结果表明,在镂空长度为200 μm,宽度为165 μm,数量为12时,该结构振子的固有频率可达到399.7 Hz,开路输出电压可达0.271V.
能量采集器、矩形悬臂梁、固有频率、开路输出电压
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TH703;TN384(仪器、仪表)
重庆光电产业科技支撑示范工程项目cstc2014zktjccxBX0065
2016-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
419-423,428
