VDMOS栅引线脱落引起的阈值电压测试错误分析
讨论了栅引线脱落导致栅悬空条件下,VDMOS器件的电流传输过程.通过器件测试与仿真,指出栅引线脱落引起阈值电压测试错误的原因.提出一种将传统“两线法”与“三线法”相结合的阈值电压测试方法,避免栅引线脱落导致阈值电压测试的误判.
VDMOS、栅引线脱落、阈值电压
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TN406(微电子学、集成电路（IC）)
国家自然科学基金资助项目60906051;中央高校基本业务费资助项目7210531201
2015-01-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
825-828
