10.3969/j.issn.1004-3365.2012.06.025
采用TEG技术的半导体集成电路可靠性评价方法
详细介绍了一种新近采用的先进半导体集成电路可靠性评价技术——TEG技术.对其基本概念、评价方法以及应用情况进行了详细的阐述,重点介绍了其中的WLR TEG可靠性在线检测与控制技术；最后,对我国开展相关工作提出了切实可行的建议,以确保并提高我国军用半导体集成电路的固有可靠性水平,促进军用微电子技术的快速发展.
半导体集成电路、可靠性评价、测试元素组、固有可靠性
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TN306(半导体技术)
2013-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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