10.3969/j.issn.1004-3365.2012.05.002
基于CMOS数字工艺的低噪声传感器接口电路
设计了一种应用于超低频率的低噪声MEMS传感器接口电路.该电路利用斩波技术降低1/f噪声,并利用MOS电容替代模拟无源元件等方法,使之与数字工艺相兼容.采用CSMC CMOS 0.5μm 2P3M CMOS工艺,实现了增益为36 dB的读出电路.该电路的等效输入噪声功率谱密度为13 μV/√Hz,3阶交调失真为-33.6 dB.电路的功耗为10 mW.
读出电路、斩波技术、CMOS数字工艺
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TN431.1(微电子学、集成电路（IC）)
国家科技重大专项2011ZX02507
2012-12-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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605-608
