10.3969/j.issn.1004-3365.2012.03.026
金刚石膜电化学氧化液的制备及清洗技术研究
提出了一种采用电化学去除硅片表面有机物的新的清洗方法,用金刚石膜电极作为阳极,电化学氧化硫酸铵溶液生成稳定的强氧化溶液,电解液的氧化性通过间接碘量法测量.通过大量实验,优化初始电解液的浓度以及初始温度等因素,得到氧化强度最佳的电化学清洗液.用自制氧化液进行硅片表面有机物的清洗实验,并与传统的RCA清洗方法进行对比.通过XPS分析可知,采用新的电化学氧化溶液清洗后的硅片表面有机物去除效果明显优于对比实验样品.
金刚石膜电极、电化学、清洗、有机物、氧化液
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TN305.97(半导体技术)
国家中长期科技发展规划02科技重大专项2009ZX02308
2012-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
406-410
