MEMS低量程微加速度计的设计
在传统双边四梁微加速度计结构的基础上,设计了一种新型MEMS低量程微加速度计,量程为±10 g.用ANSYS有限元软件对加速度计的结构建立仿真模型,进行应力、模态及抗冲击能力分析.加速度计供电电压为5V时,灵敏度理论值达到1.029 mV/g,与传统结构相比,极大地提高了低量程微加速度计的灵敏度.
MEMS、微加速度计、低量程、有限元分析、灵敏度
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TP212(自动化技术及设备)
山西省自然科学基金资助项目2010011026-2
2011-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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