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高温对金-铝系统电阻和强度的影响研究

引用
在讨论金-铝键合系统失效机理的基础上,对高温条件下金-铝键合系统接触电阻和键合强度衰变情况进行研究.给出了金-铝系统接触电阻高温衰减曲线和破坏性键合拉力强度高温衰减曲线.通过对实验结果的分析,提出在设计中通过评估键合点工作温度来避免金-铝键合系统的可靠性隐患.

金-铝系统、接触电阻、键合强度、高温衰减

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TN306(半导体技术)

2010-08-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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微电子学

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50-1090/TN

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