用于微电容检测的C/V电路设计与研究
结合电荷放大原理,通过设计高性能的运算放大器, 较好地完成了杂散电容的屏蔽,实现了高可靠性的微电容检测.采用CSMC 0.5 μm CMOS工艺,用Cadence Spectre对其进行仿真验证,能精确检测出aF量级的微电容.结合考虑不可避免的工艺误差,对差分标称电容的失配进行分析与校准.结果表明: 失配仅带来固定的失调,不会对C/V电路的灵敏度造成显著的影响.
微电容、标称电容、电荷放大器、C/V电路
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TN432;TN722.7~+7(微电子学、集成电路（IC）)
江苏省自然科学基金资助项目BK2007026;教育部新世纪优秀人才支持计划项目NCET-06-0484
2010-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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