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湿热环境下吸潮对QFN器件可靠性的影响研究

引用
由吸潮引起的微电子塑封器件失效已经越来越多地引起人们的关注.选用QFN器件作为研究对象,首先进行QFN器件在高温高湿环境下吸潮17 h、50 h、96 h试验;然后利用有限元软件分析和模拟潮湿在QFN器件中的扩散行为,并建立湿气预处理阶段应力计算模型;最后,通过试验与仿真相结合,分析潮湿对封装可靠性的影响.研究表明:微电子塑封器件的潮湿扩散速度与位置有着重要的关系;在高温高湿环境下,微电子器件吸潮产生的湿热应力在模塑封装材料(EMC)、硅芯片(DIE)和芯下材料(DA)的交界处最大;QFN器件在高温高湿环境下吸潮产生的裂纹主要出现在硅芯片与DA材料交界面的边界.

吸潮、湿热应力、QFN器件

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TM930.1

国家自然科学基金资助项目60666002

2009-10-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共5页

559-562,566

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微电子学

1004-3365

50-1090/TN

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2009,39(4)

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