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硅微电子工业的发展限制及对策

引用
简要介绍了硅微电子工业的发展状态、限制及对策.为了保持硅微电子工业的继续发展,主要的对策是利用新的结构材料以及新的器件结构和器件原理.在此基础上,介绍了新形势下硅微电子器件及电路辐射加固的考虑.

硅微电子学、微电子器件、工艺限制、辐射加固

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TN409(微电子学、集成电路(IC))

2009-10-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共3页

552-554

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微电子学

1004-3365

50-1090/TN

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2009,39(4)

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