微型压力传感器薄膜凹槽的制造技术
压力薄膜及凹槽是微型压力传感器中的关键部分,其制造方法主要有两种:1)对体硅进行选择性移除的体加工;2)对表面淀积的牺牲层进行选择性移除的表面加工.针对薄膜凹槽的制作,介绍了几种典型的体加工和表面加工技术,分析了其中的某些关键步骤及其优缺点,为薄膜凹槽的制作提供指导性意见.
压力传感器、薄膜加工、体加工、表面加工
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TP212.1;TN405(自动化技术及设备)
2009-07-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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410-413,419
