RF MEMS开关失效因素的COMSOL仿真
针对RF MEMS开关的可靠性问题,利用有限元软件COMSOL,对悬臂式RF MEMS开关周围的电场分布,开关上的电荷分布和本征频率进行了分析;并研究了在静电场和结构力场耦合作用下悬臂梁的内应力情况,找出开关损坏的可能部位,探索RF MEMS失效的机理,为悬臂式RF MEMS开关的优化改进提供理论依据.
RF MEMS开关、有限元、耦合场、本征频率、内应力
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TN406(微电子学、集成电路（IC）)
2008-06-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
157-160,165
