SOI——纳米技术时代的高端硅基材料
绝缘体上硅(SOI)是纳米技术时代的高端硅基材料.详细介绍了SOI在半导体技术领域中的应用,以及近年来为满足SOI的特殊应用要求研发的多种SOI新材料及其制备技术;综述了绝缘体上应变硅(sSOI),绝缘体上锗(GOI)等SOI技术的现状和发展动向;最后,对SOI技术的发展前景进行了展望.
高端硅基材料、绝缘体上硅、绝缘体上应变硅、绝缘体上锗
38
TN304(半导体技术)
2008-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
44-49
