10.3969/j.issn.1004-3365.2007.04.011
基于权重系数的多变量工序能力指数计算模型
在因子分析模型的基础上,使用主成分分析方法计算载荷矩阵,选取全部公共因子,并考虑对应因子的贡献率,建立基于权重系数的多变量工序能力指数计算模型.该模型能克服多变量个数的限制问题.实例分析表明,计算结果能有效地反映工艺水平的变化.
工序能力指数、权重系数、多变量、质量特性
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TN405(微电子学、集成电路（IC）)
2007-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
504-506,510
