10.3969/j.issn.1004-3365.2006.06.038
多探针自动测试台的技术改造
介绍了将测试75 mm圆片的多探针自动测试台改造为测试100 mm圆片的多探针测试台.在原设备的基础上,重新设计加工X轴和Y轴的丝杆和导轨及承片台,控制由TP801单板机改为80C32单片机,数码管显示改为彩色液晶屏显示.改造后的探针测试台只需一次对片就能测完100 mm圆片,且控制稳定,功能更加完善,使用更为方便.
半导体测试设备、探针测试台、单片机控制
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TP216(自动化技术及设备)
2007-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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