10.3969/j.issn.1004-3365.2006.06.019
一种硅光电接收处理集成电路的技术研究
介绍了一种在硅衬底上集成光电二极管探测器和双极接收放大处理电路的单芯片光电集成电路OEIC.从理论上阐述了光电器件实现的原理;为实现光电探测二极管与单片双极集成电路的兼容,设计了光电探测器的专用结构,并研制了光电探测器的专用模型.对接收处理电路进行了模拟仿真和优化设计.建立了与双极工艺兼容的制作光电二极管探测器的专用工艺;采用该工艺,对光电器件进行了版图设计、工艺制作和测试研究,给出了初步试验的方法和结果.
双极兼容工艺、光电二极管、光电探测器、互阻放大电路、双极集成电路
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TN491(微电子学、集成电路（IC）)
2007-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
767-769,773
