10.3969/j.issn.1004-3365.2006.06.010
热激励硅谐振梁压力传感器开环测试系统设计
设计了一个开环测试系统,利用锁相放大器能够对微弱信号进行有效检测的特点,采用交流激励、二倍频拾振的方法,实现了对热激励硅谐振梁压力传感器谐振输出的微弱信号的检测.该测试系统能够快速测得传感器的幅频特性曲线;通过处理,得到传感器的压力-频率特性.整个测试过程由程序控制实现.
谐振梁压力传感器、微弱信号检测、锁相放大器、开环测试
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TN402(微电子学、集成电路（IC）)
2007-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
729-731,762
