10.3969/j.issn.1004-3365.2006.05.004
SiGe HBT的发展及其在微波/射频通讯中的应用
经过二十年的发展,SiGe HBT技术已经广泛应用于微波/射频通讯领域.它的快速发展首先得益于外延技术的提高,其次是它与硅工艺完全兼容,特别是与CMOS工艺兼容的特性,以及微波/射频通讯市场的巨大需求.文章简要回顾了SiGe HBT的发展过程,认为SiGe技术今后将成为混合信号通讯系统SOC集成的技术平台.
SiGe 外延、SiGe HBT、SiGe BiCMOS、微波/射频通讯
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TN322+.8(半导体技术)
2006-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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552-558
