10.3969/j.issn.1004-3365.2005.03.007
结构化的微细结构描述语言MSDL
文章结合实例,详细介绍了一种分五个层次定义的微细结构描述语言--MSDL(Micro-Structure Description Language).包括集成电路、MEMS元器件等在内的任意微细结构,都可由所定义的描述语言进行描述.新器件的结构经由MSDL语言表述后,器件结构分析,制造可行性检查,工艺流程确定,乃至流程的实际实施等,都能够由计算机或在计算机控制下自动完成.因此,MSDL语言已成为辅助新器件开发的有力工具.
微细结构描述语言、微细结构、结构分析、半导体工艺
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TN403(微电子学、集成电路（IC）)
2005-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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248-252
