10.3969/j.issn.1004-3365.2005.02.017
基于扫描探针显微镜的纳米加工技术研究进展
扫描探针显微镜(SPM)纳米加工技术是当前非常活跃的纳米加工研究领域,其研究成果有可能成为微纳米器件制作的主要方法.文章主要介绍了单原子操纵、阳极氧化法,以及机械刻蚀加工等SPM纳米加工方法的机理、特点及研究进展,提出了今后需要重视的研究方向.
扫描探针显微镜、纳米加工、单原子操纵、阳极氧化法、机械刻蚀
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TN307(半导体技术)
2005-05-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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169-173