10.3969/j.issn.1004-3365.2005.02.014
混合集成电路内部气氛研究
文章介绍了混合集成电路内部气氛控制办法.由截断气氛来源入手,从材料的选用、工艺参数的设置、工艺过程的控制等三方面进行了分析,在控制混合电路内部气氛上取得了明显效果.
混合集成电路、内部气氛控制、聚合材料、可靠性
35
TN406;TN453(微电子学、集成电路(IC))
2005-05-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
157-160
10.3969/j.issn.1004-3365.2005.02.014
混合集成电路、内部气氛控制、聚合材料、可靠性
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TN406;TN453(微电子学、集成电路(IC))
2005-05-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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