10.3969/j.issn.1004-3365.2004.05.021
VG202MKⅡ精密硅片减薄机调试技术
VG202MKⅡ全自动精密硅片减薄机是SOI工艺的主要设备之一.由于其具有高精度、全程控等特点,设备构造较复杂,调试难度较大.文章由原理到实际、由流程到技巧,比较系统地阐述了该设备的关键调试技术.
半导体设备、硅片减薄机、SOI工艺
34
TN304.05(半导体技术)
2004-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
565-568
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10.3969/j.issn.1004-3365.2004.05.021
半导体设备、硅片减薄机、SOI工艺
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TN304.05(半导体技术)
2004-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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