10.3969/j.issn.1004-3365.2004.04.008
SOI高压器件及高压集成技术
SOI技术被誉为21世纪的硅集成技术.文章综述了SOI材料的特点与制备、高压功率器件的最新发展动态,以及相关的高压功率驱动集成技术的发展现状;介绍了作者在功率,特别是高压SOI器件和集成电路方面的工作,以作引玉之砖.
SOI、材料制备、高压器件、高压功率集成电路
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TN304.1+2;TN432(半导体技术)
2004-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共8页
390-397
