10.3969/j.issn.1004-3365.2004.03.015
一种精确的小角度测量方法
文章介绍了一种精确的小角度测量方法的原理及其应用装置.通过实验对比,验证了该方法的准确性(精度可达2%).将该方法及装置应用于硅材料纵向杂质分布的扩展电阻测试[1-3],可大大提高浅结结深测量的准确度.
小角度测量、扩展电阻测试、硅片表征、旋转角、磨角
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TN407(微电子学、集成电路（IC）)
2004-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
278-280
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