10.3969/j.issn.1004-3365.2004.03.003
三维微电子学综述
三维微电子学主要研究三维集成电路的设计与制造.文章讨论了三维集成电路的概念、发明思想、结构、优点、制造及其挑战和应用等.三维微电子技术必将成为未来发展的新兴技术.
三维微电子学、三维集成电路、集成电路工艺
34
TN30(半导体技术)
2004-08-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
227-230
10.3969/j.issn.1004-3365.2004.03.003
三维微电子学、三维集成电路、集成电路工艺
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TN30(半导体技术)
2004-08-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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