10.3969/j.issn.1004-3365.2003.06.003
微机电系统计算机辅助设计的研究
微机电系统(MEMS)的计算机辅助设计(CAD)是MEMS实现商品化的重要基础.文章介绍了MEMS CAD的概况和技术特点,提出了一种MEMS CAD的典型体系结构和MEMS建摸与模拟的层次,重点研究了微机电系统中的耦合场分析和宏模型与系统级模拟等关键问题.
微机电系统(MEMS)、计算机辅助设计(CAD)、体系结构、模拟、宏模型
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TN492(微电子学、集成电路(IC))
电子科技大学校科研和教改项目
2004-04-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
477-479,484