10.3969/j.issn.1004-3365.2003.05.024
一种电容式Al2O3湿度传感器
在单晶Si片上热生长一层SiO2薄膜,采用真空淀积的方法制备一层Al薄膜,然后利用铝阳极氧化的方法获得一层多孔Al2O3薄膜.设计制作了电容式Al2O3湿度传感器,测试结果表明,该器件具有较好的感湿特性和较宽的感湿范围.
三氧化二铝、多孔膜、湿度传感器
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TN304.055(半导体技术)
2004-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
456-457,461
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