10.3969/j.issn.1004-3365.2003.05.023
一种基于MEMS技术的微变电容
通过对接触式电容压力传感器的改进,提出了一种基于MEMS技术的微变电容模型.为确定外加驱动电压与由此所引起的电容变化之间的非线性关系,提出了一种有效的基于有限元的方法,并设计了相应的加工工艺流程,说明了其工艺的可实现性.
MEMS、微变电容、电容压力传感器、有限元分析
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TN492(微电子学、集成电路(IC))
2004-04-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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