10.3969/j.issn.1004-3365.2002.06.005
纳米结构的制备及其应用
介绍了用电子束光刻、反应离子刻蚀方法制备硅量子线、量子点的工艺方法;采用这种工 艺在P型SIMOX(separation by implanted oxygen)硅片上成功地制造出一种单电子晶体管.
纳米结构、单电子晶体管、量子线、量子点
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TN32(半导体技术)
西安理工大学校科研和教改项目210201
2004-02-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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