10.3969/j.issn.1004-3365.2002.02.011
工艺流程的自动生成程序MyAPG及其应用
自动工艺流程生成器对于集成电路生产自动化具有重要意义.文章介绍了一种工艺流程生成程序MyAPG,对于程序所用到的工艺库和工艺步骤合并的处理进行了详细说明,并给出了利用该程序所得到的流程实例.
集成电路生产、自动工艺流程生成器、工艺库、工艺步骤合并
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TN43(微电子学、集成电路（IC）)
2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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