10.3969/j.issn.1004-3365.2001.06.010
四甲基氢氧化铵在MEMS中的应用
通过各向异性腐蚀硅杯实验,研究了四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液的特性,包括硅(100)面腐蚀速率与溶液浓度、温度的关系,不同腐蚀条件下硅杯的表面状况,并确定了制作硅杯的最佳工艺条件.通过测试硅杯结构多晶硅压力传感器的输出特性,证明了TMAH确实是一种性能优良的各向异性腐蚀剂.
MEMS、TMAH、各向异性腐蚀、硅杯
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TN304.2+1;TN454(半导体技术)
国家自然科学基金69876027
2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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