10.3969/j.issn.1004-3365.2001.05.012
降低集成化平面螺旋电感寄生串联电阻的途径
对集成化平面电感的串联电阻对电感Q值的影响进行了计算机模拟分析,结果表明,微型电感中的串联电阻对电感Q值的影响严重,在电感的串联电阻大于200 Ω时,电感的Q值下降到1左右,已无法满足实际需要.围绕微型电感中对串联电阻起主要作用的导通电阻开展实验,得出了降低导通电阻的最佳工艺条件,为研制通讯用的微型电感打下了基础.
微型电感、导通电阻、串联电阻、Q值
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TN405(微电子学、集成电路（IC）)
教育部重点实验室基金CETD00-07
2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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