10.3969/j.issn.1004-3365.2001.04.003
纳米硅微结构的测量与控制
文章应用电化学方法获得了纳米硅微粒材料。通过TEM的分析测算，知其平均粒度在2～5 nm之间。在暗室中，能见其萤光辐射。并在同一溶液中，采用不同电流密度和反应时间，制作了不同的硅微粒薄膜样品；利用基于分形理论和计算机图像处理技术的软件，对样品电镜照片的图像灰度值进行计算及数据处理，求得了相应样品的分形参数，找到了分形参数随微粒大小及密度而变化的规律。提出了获得均匀一致、粒径可控的纳米硅材料的新方法。
硅、纳米微粒、微结构、分形几何学
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TN304.1+2(半导体技术)
国家自然科学基金69801003
2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
242-245
