10.3969/j.issn.1004-3365.2001.02.011
用于工艺流程自动生成的排序算法
文章介绍了一种工艺流程的自动排序算法。该算法将器件的结构作为输入信息，利用工艺库，得到可制造出该器件的工艺路线。该算法可应用于VLSI制造的工艺流程卡自动生成。
集成电路工艺、流程卡、自动排序算法、工艺库
31
TN405(微电子学、集成电路（IC）)
2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
115-117
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10.3969/j.issn.1004-3365.2001.02.011
集成电路工艺、流程卡、自动排序算法、工艺库
31
TN405(微电子学、集成电路（IC）)
2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
115-117
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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