10.3969/j.issn.1004-3365.2001.02.007
基因芯片中点阵的微电子加工技术
基因芯片是运用微电子加工技术以及基因分子的自组装技术在微小芯片上组装成千上万个不同的DNA微阵列，实现以基因为主的生命信息的大规模检测。文章利用氧化、光刻、蒸发、溅射等一系列集成电路工艺技术，研究了适于电化学检测的基因芯片微阵列的制备，提出了这种芯片中微流路的制备方案。
基因芯片、DNA微阵列、微电子工艺、微流路
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TN405(微电子学、集成电路（IC）)
2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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