10.3969/j.issn.1004-3365.2001.02.006
一种新型真空微电子压力传感器的研制
采用各向异性腐蚀与各向同性腐蚀相结合的技术和特殊的硅-硅键合技术，成功地研制出了一种新型真空微电子压力传感器。测试分析结果表明，该传感器反向击穿电压达到100 V；在加3 V正向电压时，其单个锥尖发射电流为0.2 nA；在25～100g的压力范围内与输出电压呈线性关系，灵敏度为0.1 μA/g。
微电子传感器、真空压力传感器、锥尖、真空微腔
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TN303(半导体技术)
2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
97-99，102
