10.3969/j.issn.1004-3365.2001.01.001
SOI技术 ——21世纪的硅集成技术
SOI技术作为21世纪的硅集成技术，越来越受到人们的关注。文章从寄生电容、闭锁效应、热载流子效应、体效应及辐射效应等几个方面详细讨论了SOI器件对体硅器件的优势，并讨论了当前SOI技术的研究领域和发展方向。
SOI、体硅、SIMOX、硅集成
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TN305(半导体技术)
2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
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10.3969/j.issn.1004-3365.2001.01.001
SOI、体硅、SIMOX、硅集成
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TN305(半导体技术)
2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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