10.3969/j.issn.1004-3365.2000.06.006
优化的BSIM3V3模型参数提取策略
采用Silvoca公司的UTMOST模型参数提取程序对BSIM3V3模型参数进行提取,得出了BSIM3V3模型参数随器件尺寸变化的规律,并将此方法应用于清华大学微电子所工艺线1.0 μm工艺,给出此工艺下的多尺寸器件的BSIM3V3模型参数.同时,对该方法的准确性进行了分析.
BSIM3模型、模型参数、参数提取、提取策略、局部优化、全局优化
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TP391.72(计算技术、计算机技术)
2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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