10.3969/j.issn.1004-3365.2000.04.007
场发射压力传感器力敏感膜的形变特性分析
利用有限元法计算分析了以阴极尖锥阵列体作为力敏感膜的形变特性,给出了用表达式计算尖锥阵列体形变的修正值,为后继工作提供了可以选择的技术途径.
场发射、压力传感器、力敏感膜、形变、有限元法
30
TN384(半导体技术)
2004-02-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
238-240
10.3969/j.issn.1004-3365.2000.04.007
场发射、压力传感器、力敏感膜、形变、有限元法
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TN384(半导体技术)
2004-02-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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